Способ получения тонкопленочных покрытий из нитрида титана

Формула / Реферат

Изобретение относится к вакуумно-дуговому способу получения однотонных по цвету покрытий путем распыления титана в азотсодержащей среде при давлении 0,08-0,3 Па и плотности ионного тока 25-50 А/м2. Прочность сцепления покрытия с основой увеличивается.

МПК / Метки

МПК: C23C 14/34

Метки: титана, способ, покрытий, нитрида, тонкопленочных, получения

Код ссылки

<a href="http://kzpatents.com/0-pp11642-sposob-polucheniya-tonkoplenochnyh-pokrytijj-iz-nitrida-titana.html" rel="bookmark" title="База патентов Казахстана">Способ получения тонкопленочных покрытий из нитрида титана</a>

Похожие патенты