Сверхвысоковакуумная технологическая установка

Номер полезной модели: 24

Опубликовано: 16.12.1996

Авторы: Верминичев Борис Михайлович, Смагулов Даулет Уялович

Формула / Реферат

Полезная модель относится к области вакуумных реакторов, в частности, к сверхвысоковакуумным технологическим установкам.
Технический результат - повышение надежности конструкций установок для проведения работ в сверхвакуумном режиме достигается в сверхвысоковакуумной технологической установке, содержащей разъемную рабочую камеру с кольцевой герметизацией по плоскости разъема и вакуумный насос.
Новым в сверхвысоковакуумной технологической установке является то, что рабочая камера снабжена разъемной, с кольцевой герметизацией по плоскости разъема охранной камерой с вакуумным, например, криогенным насосом, размещенной над рабочей камерой и закрепленной на общем с рабочей камерой основании, вакуумный, например, криогенный насос рабочей камеры и указанный вакуумный насос охранной камеры установлены под соответствующими камерами и герметично отделены от них крышками, снабженными каждая механизмом подъема и опускания крышки с подвижными нижней и верхней и неподвижной промежуточной осями, связывающими между собой рычаг с направляющим фасонным отверстием, в котором размещена промежуточная ось, и тягу, выведенную одним концом за пределы охранной камеры, и обеспечивающими при подъеме крышки ее разворот в вертикальной плоскости относительно нижней оси при перемещении верхней оси с тягой в горизонтальной плоскости, а связанного с ними рычага с нижней осью - в вертикальной плоскости по направляющим, жестко установленным в каждой камере и снабженным ограничителем подъема крышки, при этом в зоне герметичного соединения каждой камеры с крышкой по краю последней пропущен, например, нихромовый нагреватель, а на уплотняемой стороне каждой камеры выполнена кольцевая канавка, заполненная, например, смесью олова с железным порошком.
Новым в сверхвысоковакуумной технологической установке является также то, что кольцевая герметизация рабочей камеры выполнена, например, с помощью пришлифованных сопрягаемых поверхностей по плоскости разъема.

МПК / Метки

МПК: B01J 3/03, C30B 25/14

Метки: технологическая, сверхвысоковакуумная, установка

Код ссылки

<a href="http://kzpatents.com/0-u24-sverhvysokovakuumnaya-tehnologicheskaya-ustanovka.html" rel="bookmark" title="База патентов Казахстана">Сверхвысоковакуумная технологическая установка</a>

Похожие патенты