Патенты опубликованные 15.07.1995

Способ формирования в образце профиля ионного повреждения и легирования

Загрузка...

Номер патента: 1909

Опубликовано: 15.07.1995

Авторы: Ждан Геннадий Тимофеевич, Вагин Сергей Петрович, Чакров Петр Васильевич

МПК: C23C 14/48

Метки: легирования, ионного, формирования, способ, профиля, образце, повреждения

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области ионной имплантации и может быть использовано для изучения процессов формирования и эволюции радиационных дефектов и фазовых превращений вдоль пробега заряженных частиц в твердом теле, а также для создания в материалах профилей ионного повреждения и легирования. Способ формирования в образце профиля ионного повреждения и легирования включает ионную имплантацию поверхности образца. Перед ионной имплантацией на...