C23C 14/58 — последующая обработка

Способ синтеза сверхпроводящего интерметаллического соединения в пленках

Загрузка...

Номер патента: 16467

Опубликовано: 14.03.2008

Авторы: Тулеушев Юрий Жианшахович, Володин Валерий Николаевич, Тулеушев Адил Жианшахович

МПК: C23C 14/58, H01L 21/265

Метки: пленках, сверхпроводящего, синтеза, способ, интерметаллического, соединения

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области получения сверхпроводников и может бытьиспользовано в электротехнической, радиотехнической и других отраслях промышленностипри формировании многоуровневой сверхпроводящей схемы внутри пленочного несверхпроводящегопокрытия.