C30B 25/14 — средства для подачи или выпуска газов; изменение потока реакционноспособных газов

Сверхвысоковакуумная технологическая установка

Номер полезной модели: 24

Опубликовано: 16.12.1996

Авторы: Смагулов Даулет Уялович, Верминичев Борис Михайлович

МПК: B01J 3/03, C30B 25/14

Метки: установка, технологическая, сверхвысоковакуумная

Формула / Реферат:

Полезная модель относится к области вакуумных реакторов, в частности, к сверхвысоковакуумным технологическим установкам. Технический результат - повышение надежности конструкций установок для проведения работ в сверхвакуумном режиме достигается в сверхвысоковакуумной технологической установке, содержащей разъемную рабочую камеру с кольцевой герметизацией по плоскости разъема и вакуумный насос. Новым в сверхвысоковакуумной технологической...