G01L 9/06 — пьезорезистивных устройств

Пьезорезистивный датчик давления и способ его изготовления

Загрузка...

Номер патента: 2953

Опубликовано: 15.12.1995

Авторы: Нигматуллин Расим Маулянович, Курманбаева Айгуль Асылхановна, Пак Сергей Павлович, Нигматуллина Рауза Мауляновна, Ким Герасим Хактюнович, Александров Николай Александрович

МПК: G01L 9/06

Метки: давления, изготовления, пьезорезистивный, датчик, способ

Формула / Реферат:

Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано для измерения динамических давлении, в частности, при ударно-волновых нагружениях материалов.Цель изобретения - увеличение точности измерений и расширение диапазона измеряемых давлений и повышение технологичности.Пьезорезистивный датчик давления содержит по меньшей мере одну пару меаллических электродов в форме полосок, размещенных на воспринимающей давление поверхности и...