H01L 21/265 — с внедрением ионов

Способ синтеза сверхпроводящего интерметаллического соединения в пленках

Загрузка...

Номер патента: 16467

Опубликовано: 14.03.2008

Авторы: Тулеушев Адил Жианшахович, Тулеушев Юрий Жианшахович, Володин Валерий Николаевич

МПК: C23C 14/58, H01L 21/265

Метки: сверхпроводящего, соединения, пленках, способ, синтеза, интерметаллического

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области получения сверхпроводников и может бытьиспользовано в электротехнической, радиотехнической и других отраслях промышленностипри формировании многоуровневой сверхпроводящей схемы внутри пленочного несверхпроводящегопокрытия.