H01L 21/312 — из органических веществ, например слоев фоторезиста

Способ определения температуры стеклования полимеров

Загрузка...

Номер инновационного патента: 20595

Опубликовано: 15.12.2008

Авторы: Садык Бейбит, Юров Виктор Михайлович

МПК: H01L 21/312

Метки: полимеров, стеклования, определения, способ, температуры

Формула / Реферат:

Изобретение относится к определению теплофизических характеристик полимеров, а именно к определению температуры стеклования полимеров.Заявленным способом предусматривается облу-чение образца полимера УФ-светом и измерение термостимулированной люминесценции (ТСЛ) в режиме равномерного нагрева. В аррениусовых (lnI ~ 103/Т) координатах кривая ТСЛ спрямляется, отсекая на оси абцисс обратную температуру стеклования полимера.Реализация...