МАГВАЙР, Джеймс, Д., мл.

Металлический тантал (варианты), изделие из него (варианты), металлический сплав (варианты), мишень для напыления (варианты), конденсаторная емкость (варианты) и резистивная пленка (варианты), включающие металлический тантал, способ получения металлического тантала (варианты)

Номер предварительного патента: 12432

Опубликовано: 17.12.2002

Авторы: МАГВАЙР, Джеймс, Д., мл., МИХАЛЮК, Кристофер, А., ХЬЮБЕР, Луис, Е., мл., КОЧАК, Марк, Н.

МПК: C23C 14/34, C22B 34/24

Метки: конденсаторная, напыления, емкость, мишень, способ, изделие, резистивная, металлический, сплав, получения, него, включающие, варианты, тантал, металлического, тантала, пленка

Формула / Реферат:

Описаны высокочистый металлический тантал и содержащие его сплавы. Металлический тантал предпочтительно имеет чистоту, по меньшей мере, 9,995% и, более предпочтительно, по меньшей мере, 99,999%. В добавление описаны металлический тантал и его сплавы, которые или имеют размер зерна около 50 микрон или менее, или текстуру, в которой (100) интенсивность внутри лю­бого 5% инкремента толщины меньше примерно 15 рандом, или инкрементный логарифм...