МАГВАЙР, Джеймс, Д., мл.

Металлический тантал (варианты), изделие из него (варианты), металлический сплав (варианты), мишень для напыления (варианты), конденсаторная емкость (варианты) и резистивная пленка (варианты), включающие металлический тантал, способ получения металлического тантала (варианты)

Номер предварительного патента: 12432

Опубликовано: 17.12.2002

Авторы: КОЧАК, Марк, Н., ХЬЮБЕР, Луис, Е., мл., МИХАЛЮК, Кристофер, А., МАГВАЙР, Джеймс, Д., мл.

МПК: C22B 34/24, C23C 14/34

Метки: способ, пленка, тантал, тантала, сплав, варианты, изделие, включающие, резистивная, металлического, металлический, емкость, него, мишень, напыления, конденсаторная, получения

Формула / Реферат:

Описаны высокочистый металлический тантал и содержащие его сплавы. Металлический тантал предпочтительно имеет чистоту, по меньшей мере, 9,995% и, более предпочтительно, по меньшей мере, 99,999%. В добавление описаны металлический тантал и его сплавы, которые или имеют размер зерна около 50 микрон или менее, или текстуру, в которой (100) интенсивность внутри лю­бого 5% инкремента толщины меньше примерно 15 рандом, или инкрементный логарифм...