Тулеушев Юрий Жианшахович

Способ получения пористого металла

Загрузка...

Номер инновационного патента: 30111

Опубликовано: 15.07.2015

Авторы: Володин Валерий Николаевич, Тулеушев Юрий Жианшахович

МПК: C22C 1/08, H01G 9/04

Метки: способ, получения, пористого, металла

Формула / Реферат:

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОРИСТОГО МЕТАЛЛАИзобретение относится к области получения специальных пористых металлов и сплавов и может быть использовано в металлургии, при производстве катализаторов, в электротехнической промышленности и других отраслях.Способ получения пористого металла включает получение расплава с определен­ной концентрацией двух металлов, кристаллизацию и испарение одного из металлов, в ко­тором в качестве металлов используют тантал и...

Способ легирования тантала кадмием

Загрузка...

Номер инновационного патента: 30108

Опубликовано: 15.07.2015

Авторы: Володин Валерий Николаевич, Тулеушев Юрий Жианшахович

МПК: C30B 31/20, C30B 31/22, H01L 39/00...

Метки: легирования, кадмием, тантала, способ

Формула / Реферат:

СПОСОБ ЛЕГИРОВАНИЯ ТАНТАЛА КАДМИЕМИзобретение относится к области получения специальных сплавов в виде по­крытий или самонесущих изделий и может быть использовано в металлургии, машино­строении, материаловедении и других отраслях.Способ легирования тантала кадмием включает одновременное со сдвигом в пространстве распыление металла и легирующего элемента в нанодисперсное состоя­ние и соосаждение их субслоями в виде островкового покрытия размером...

Способ легирования кремния в пленке

Загрузка...

Номер инновационного патента: 28704

Опубликовано: 15.07.2014

Авторы: Жаканбаев Елдар Асхатович, Тулеушев Юрий Жианшахович, Володин Валерий Николаевич

МПК: C30B 31/22, C30B 31/20

Метки: способ, пленке, кремния, легирования

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области получения специальных покрытий для тонкопле­ночных фотоэлементов и может быть использовано в материаловедении и других отрас­лях.Способ легирования кремния в пленке включает одновременное со сдвигом в про­странстве распыление кремния и легирующего элемента в нанодисперсное состояние, со-осаждение их субслоями в виде островкового покрытия размером частиц кремния и/или легирующего элемента менее критического, при...

Способ изготовления ультратонкой бериллиевой фольги

Загрузка...

Номер инновационного патента: 24565

Опубликовано: 15.09.2011

Авторы: Тулеушев Юрий Жианшахович, Тулеушев Адил Жианшахович, Федосимов Евгений Олегович, Жаканбаев Елдар Асхатович, Володин Валерий Николаевич

МПК: C23C 14/24, C23C 14/34

Метки: ультратонкой, фольги, бериллиевой, изготовления, способ

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области изготовления самонесущих тонких пленок, в частности, к способам получения бериллиевой фольги, используемых для окон, при регистрации низкоэнергетических излучений, и может найти применение в прикладной физике, при обработке металлов и в других отраслях промышленности.Способ изготовления ультратонкой фольги включает осаждение полученного магнетронным распылением мишени бериллия на подготовленную поверхность и...

Способ изготовления биметаллической фольги с ферромагнетиком

Загрузка...

Номер инновационного патента: 24564

Опубликовано: 15.09.2011

Авторы: Тулеушев Юрий Жианшахович, Тулеушев Адил Жианшахович, Володин Валерий Николаевич

МПК: C23C 14/34, C23C 14/24

Метки: способ, изготовления, ферромагнетиком, фольги, биметаллической

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области изготовления самонесущих тонких пленок, в частности, к способам получения биметаллической фольги, одним из металлов которой является железо, никель или кобальт, использующейся в прикладной физике, и может найти применение в машиностроении, при обработке металлов и в других отраслях промышленности.Способ изготовления металлической фольги включает осаждение металла, полученного магнетронным распылением металлической...

Способ изготовления анода электролитического конденсатора из тантала

Загрузка...

Номер патента: 16023

Опубликовано: 17.11.2008

Авторы: Тулеушев Юрий Жианшахович, Тулеушев Адил Жианшахович, Володин Валерий Николаевич

МПК: H01G 9/04

Метки: электролитического, тантала, конденсатора, анода, изготовления, способ

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области изготовления конденсаторов из танталаи может быть использовано в электронной, радиотехнической, электротехнической идругих отраслях промышленности.

Способ синтеза сверхпроводящего интерметаллического соединения в пленках

Загрузка...

Номер патента: 17103

Опубликовано: 15.07.2008

Авторы: Тулеушев Адил Жианшахович, Володин Валерий Николаевич, Тулеушев Юрий Жианшахович

МПК: C23C 26/00, H01L 39/24

Метки: интерметаллического, пленках, способ, синтеза, сверхпроводящего, соединения

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области получения сверхпроводников и может быть использовано в электротехнической, радиотехнической и других отраслях промышленности при получении сверхпроводящего интерметаллического соединения внутри пленочного несверхпроводящего покрытия.Способ синтеза сверхпроводящего интерме-таллического соединения в пленках, например, станнида ниобия Nb3Sn, включает совместное ионно-плазменное распыление мишеней исходных металлов с...

Способ синтеза сверхпроводящего интерметаллического соединения в пленках

Загрузка...

Номер патента: 16467

Опубликовано: 14.03.2008

Авторы: Володин Валерий Николаевич, Тулеушев Юрий Жианшахович, Тулеушев Адил Жианшахович

МПК: H01L 21/265, C23C 14/58

Метки: пленках, сверхпроводящего, соединения, интерметаллического, синтеза, способ

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области получения сверхпроводников и может бытьиспользовано в электротехнической, радиотехнической и других отраслях промышленностипри формировании многоуровневой сверхпроводящей схемы внутри пленочного несверхпроводящегопокрытия.

Способ получения сверхпроводящего интерметаллического соединения

Номер патента: 13420

Опубликовано: 15.11.2007

Авторы: Тулеушев Юрий Жианшахович, Володин Валерий Николаевич, Тулеушев Адил Жианшахович

МПК: C22C 27/02, C23C 14/34

Метки: способ, соединения, сверхпроводящего, получения, интерметаллического

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области получениясверхпроводящих интерметаллических соединенийи формирования сверхпроводников, используемых вэлектротехнической, радиотехнической,медицинской и других отраслях промышленности.Способ получения сверхпроводящегоинтерметаллического соединения, например,алюминида ниобия Nb3Al, включаетконтактирование исходных металлов итермообработку, при этом контактированиепроводят совместным осаждением распыленныхметаллов на...

Способ изготовления анода электролитического конденсатора из тантала

Загрузка...

Номер патента: 16350

Опубликовано: 15.10.2007

Авторы: Тулеушев Адил Жианшахович, Тулеушев Юрий Жианшахович, Володин Валерий Николаевич

МПК: H01G 9/042, H01G 9/04, C23C 14/34...

Метки: тантала, электролитического, анода, конденсатора, способ, изготовления

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области изготовления конденсаторов из танталаи может быть использовано в электронной, радиотехнической, электротехнической идругих отраслях промышленности.

Способ легирования металлов в пленках

Загрузка...

Номер патента: 15425

Опубликовано: 15.10.2007

Авторы: Тулеушев Юрий Жианшахович, Тулеушев Адил Жианшахович, Володин Валерий Николаевич

МПК: C30B 31/20, H01L 39/00, C30B 31/22...

Метки: способ, пленках, легирования, металлов

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области получения специальных сплавов в виде покрытий или самонесущих изделий и может быть использовано в металлургии, машиностроении, материаловедении и других отраслях. Способ легирования металла в пленках включает одновременное со сдвигом в пространстве распыление металла и легирующего элемента в нанодисперсное состояние в плазме низкого давления и соосаждение их субслоями поочередным повторяющимся пересечением потоков...

Способ получения сплавов

Номер предварительного патента: 18472

Опубликовано: 15.05.2007

Авторы: Володин Валерий Николаевич, Тулеушев Адил Жианшахович, Тулеушев Юрий Жианшахович

МПК: C22C 1/02, C22C 27/02, C22C 14/00...

Метки: получения, способ, сплавов

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области цветной металлургии, в частности к получению сплавов на основе ниобия и может быть использовано для приготовления сплавов металлов, имеющих большую разницу в температурах плавления и неограниченную растворимость в твердом и жидком состоянии.Способ получения сплавов, например ниобия с титаном, плавлением в вакууме, включает нагрев компонентов сплава, изотермическую выдержку и охлаждение, при этом нагрев...

Способ определения коэффициентов диффузии в пленочных материалах

Загрузка...

Номер патента: 13075

Опубликовано: 15.02.2006

Авторы: Горлачев Игорь Дмитриевич, Тулеушев Юрий Жианшахович, Тулеушев Адил Жианшахович, Володин Валерий Николаевич

МПК: G01N 13/00

Метки: диффузии, материалах, пленочных, способ, определения, коэффициентов

Формула / Реферат:

Изобретение относится к технологии изготовления пленочных материалов, а именно к исследованию физических свойств, и может быть использовано для контроля параметров диффузионных процессов в тонких пленках. Способ определения коэффициентов диффузии в пленочных материалах включает нанесение пленки диффундирующего элемента на поверхность металла, стимулирующее диффузию воздействие, определение изменения концентрации элемента в металле и отыскание...

Коррозионно-стойкое покрытие на основе тантала и способ его получения

Загрузка...

Номер патента: 13917

Опубликовано: 16.01.2006

Авторы: Тулеушев Юрий Жианшахович, Тулеушев Адил Жианшахович, Володин Валерий Николаевич

МПК: C23C 14/06, C23C 30/00

Метки: коррозионно-стойкое, способ, покрытие, получения, тантала, основе

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области получения коррозионно-стойких пленочных покрытий и может быть использовано в производстве антикоррозионных материалов. Коррозионно-стойкое покрытие на основе тантала дополнительно содержит медь при следующем соотношении компонентов, мас.%: медь - не более 45, тантал - остальное. Способ получения коррозионно-стойкого покрытия на основе тантала включает ионно-плазменное распыление мишени из тантала и осаждение на...

Способ синтеза сверхпроводящего интерметаллического соединения в пленках

Номер предварительного патента: 16468

Опубликовано: 15.11.2005

Авторы: Володин Валерий Николаевич, Тулеушев Адил Жианшахович, Тулеушев Юрий Жианшахович

МПК: C23C 14/34, C23C 14/14, C22C 1/10...

Метки: соединения, пленках, синтеза, интерметаллического, сверхпроводящего, способ

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области получениясверхпроводников и может быть использовано вэлектротехнической, радиотехнической и другихотраслях промышленности.Способ синтеза сверхпроводящего интерметаллического соединения в пленках, например, станнида ниобия Nb3Sn, включает совместное осаждениепутем ионно-плазменного распыления мишенейисходных металлов с получением твердого раствораи последующую обработку для инициирования реакции интерметаллизации,...

Способ формирования пленочного покрытия и магнетронное устройство для его осуществления

Загрузка...

Номер патента: 12436

Опубликовано: 14.10.2005

Авторы: Лисицын Владимир Николаевич, Тулеушев Адил Жианшахович, Ким Светлана Николаевна, Тулеушев Юрий Жианшахович, Володин Валерий Николаевич

МПК: C23C 14/34, H01L 39/12

Метки: устройство, пленочного, покрытия, способ, осуществления, формирования, магнетронное

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области нанесения покрытий, в том числе сверхпроводящих, различных по назначению и составу, и может быть использова­но в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности.Достигаемый изобретением технический результат - предотвращение откло­нений состава покрытия от состава многокомпонентных мишеней.Способ формирования пленочного покрытия включает магнетронное распы­ление...

Установка для нанесения покрытий

Загрузка...

Номер патента: 11738

Опубликовано: 16.08.2004

Авторы: Асанов Александр Бикетович, Володин Валерий Николаевич, Лисицын Владимир Николаевич, Ким Светлана Николаевна, Тулеушев Юрий Жианшахович, Тулеушев Адил Жианшахович

МПК: C23C 14/50, C23C 14/35

Метки: установка, покрытий, нанесения

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области аппаратурного оформления технологий нанесения покрытий, различных по назначению и составу, и может быть исполь­зовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и дру­гих отраслях промышленности.Технический результат изобретения заключается в обеспечении технологиче­ской возможности формирования покрытий при низких температурах.Установка для нанесения покрытий включает вакуумную камеру,...

Установка для напыления покрытий

Загрузка...

Номер патента: 12751

Опубликовано: 05.05.2004

Авторы: Ким Светлана Николаевна, Тулеушев Адил Жианшахович, Лисицын Владимир Николаевич, Тулеушев Юрий Жианшахович, Володин Валерий Николаевич

МПК: C23C 14/35, C23C 14/38

Метки: напыления, покрытий, установка

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области изготовления покрытий из металлов на изделиях различного назначения и может быть использовано в электротехнической, радиотехнической, ювелирной и других отраслях промышленности. Технический результат изобретения заключается в формировании упрочненных покрытий по всей поверхности подложек, включая тыльную сторону. Установка для напыления покрытий включает вакуумную камеру, распылители мишеней-катодов с анодными...

Способ формирования покрытия из драгоценных металлов или их сплавов

Загрузка...

Номер патента: 12750

Опубликовано: 05.05.2004

Авторы: Володин Валерий Николаевич, Тулеушев Адил Жианшахович, Тулеушев Юрий Жианшахович, Ким Светлана Николаевна, Лисицын Владимир Николаевич

МПК: C23C 14/35, C23C 14/38, C23C 14/16...

Метки: сплавов, формирования, металлов, драгоценных, покрытия, способ

Формула / Реферат:

Изобретение относится к областиизготовления покрытий из драгоценных металловна изделиях различного назначения и может бытьиспользовано в ювелирной, электротехнической,радиотехнической и других отрасляхпромышленности. Технический результатизобретения заключается в повышенииизносостойкости покрытия из драгоценныхметаллов и их сплавов. Способ формированияпокрытия из драгоценных металлов и их сплавоввключает предварительное ионное травлениеподложки,...

Способ синтеза интерметаллических соединений

Загрузка...

Номер патента: 13258

Опубликовано: 15.04.2004

Авторы: Тулеушев Юрий Жианшахович, Тулеушев Адил Жианшахович, Володин Валерий Николаевич

МПК: C22C 1/00, C22C 1/10, C23C 14/14...

Метки: интерметаллических, соединений, синтеза, способ

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области полученияинтерметаллических соединений, напримерсверхпроводящих, используемых вэлектротехнической, радиотехнической,медицинской и других отраслях промышленности.Способ синтеза интерметаллических соединений,например сверхпроводящих, включающем совместноеосаждение металлов на подложку, в которомсовместное осаждение металлов ведут путемионно-плазменного распыления мишеней изисходных металлов с получением...

Магнетрон

Загрузка...

Номер патента: 12752

Опубликовано: 16.02.2004

Авторы: Тулеушев Адил Жианшахович, Тулеушев Юрий Жианшахович, Володин Валерий Николаевич

МПК: H01J 25/50, C23C 14/35

Метки: магнетрон

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области нанесения покрытий, различных по назначению и составу, а именно - к устройствам ионно-плазменного распыления в скрещенных магнитном и электрических полях, и может быть использовано в машиностроении, оптике, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности. Магнетрон включает мишень-катод, цилиндрический анод, выполненный полым, установленный на диэлектрическом держателе и имеющий...

Способ получения композиционных материалов

Загрузка...

Номер патента: 11530

Опубликовано: 16.02.2004

Авторы: Асанов Александр Бикетович, Тулеушев Юрий Жианшахович, Володин Валерий Николаевич, Тулеушев Адил Жианшахович, Лисицын Владимир Николаевич, Кадыржанов Кайрат Камалович, Ким Светлана Николаевна

МПК: C22C 47/16, C23C 14/34

Метки: получения, способ, материалов, композиционных

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области получения металлических композиционных материалов на основе цветных металлов и сплавов и может быть использовано в электротехнике, электронике, машиностроительной, приборостроительной и других отраслях промышленности.Способ получения композиционных материалов из армирующего и матричного компонентов напылением, в котором получение, введение в матричный компонент и распределение в нем дисперсного армирующего...

Способ формирования пленочного покрытия и устройство для его осуществления

Загрузка...

Номер патента: 12435

Опубликовано: 14.11.2003

Авторы: Ким Светлана Николаевна, Тулеушев Адил Жианшахович, Асанов Александр Бикетович, Володин Валерий Николаевич, Тулеушев Юрий Жианшахович, Лисицын Владимир Николаевич

МПК: H01L 39/12, C23C 14/34

Метки: формирования, способ, устройство, покрытия, пленочного, осуществления

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области нанесения покрытий, в том числе сверхпроводящих, различных по назначению и составу, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности.Способ формирования пленочного покрытия включает магнетронное распыление противолежащих мишеней, осаждение распыленного материала на подложку, при этом распыленный материал направляют в зону смешения,...

Установка для нанесения покрытий на широкую ленту

Загрузка...

Номер патента: 11115

Опубликовано: 14.11.2003

Авторы: Тулеушев Юрий Жианшахович, Лисицын Владимир Николаевич, Володин Валерий Николаевич, Ким Светлана Николаевна, Асанов Александр Бикетович, Тулеушев Адил Жианшахович

МПК: C23C 14/56, C23C 14/35

Метки: покрытий, установка, нанесения, широкую, ленту

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области нанесения покрытий, различных по назначению и составу, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности.Установка для нанесения покрытий на широкую ленту включает вакуумную камеру, по меньшей мере, два магнетронных распылителя, системы эвакуации, подачи и регулирования расхода газа, устройство для перемещения ленты в виде вращающейся закрытой...

Способ получения бериллиевой фольги

Загрузка...

Номер патента: 11856

Опубликовано: 15.04.2003

Авторы: Ким Светлана Николаевна, Лисицын Владимир Николаевич, Володин Валерий Николаевич, Асанов Александр Бикетович, Тулеушев Юрий Жианшахович, Тулеушев Адил Жианшахович

МПК: C23C 14/24, C23C 14/34

Метки: способ, фольги, получения, бериллиевой

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области изготовления самонесущих тонких пленок, в частности, к способам получения бериллиевой фольги, используемой для окон при регистрации низкоэнергетических излучений, и может найти применение в прикладной физике, при обработке металлов и в других отраслях промышленности.Способ получения бериллиевой фольги включает нанесение на подготовленную поверхность подложки подслоя, препятствующего диффузии материала фольги в...

Способ формирования сверхпроводящего пленочного покрытия и проводник на его основе

Загрузка...

Номер патента: 11531

Опубликовано: 15.04.2003

Авторы: Володин Валерий Николаевич, Тулеушев Адил Жианшахович, Ким Светлана Николаевна, Тулеушев Юрий Жианшахович, Асанов Александр Бикетович, Лисицын Владимир Николаевич

МПК: C23C 14/34, H01L 39/24

Метки: сверхпроводящего, формирования, проводник, способ, основе, покрытия, пленочного

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области формирования пленочных сверхпроводников, сверхпроводящих композиций и проводников на их основе и может быть использовано в электротехнической, радиотехнической, медицинской и других отраслях промышленнос­ти.Способ формирования сверхпроводящего пленочного покрытия включает магнетронное распыление материала мишени в потоке плазмы и осаждение его на подготовлен­ную поверхность металлической подложки, перемещаемой...

Способ получения бериллиевой и бериллийсодержащей фольги и устройство для его осуществления

Загрузка...

Номер патента: 10564

Опубликовано: 17.03.2003

Авторы: Асанов Александр Бикетович, Тулеушев Юрий Жианшахович, Ким Светлана Николаевна, Володин Валерий Николаевич, Тулеушев Адил Жианшахович, Лисицын Владимир Николаевич

МПК: C23C 14/56, B21D 33/00, C23C 14/35...

Метки: фольги, осуществления, способ, получения, устройство, бериллиевой, бериллийсодержащей

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области изготовления самонесущих тонких пленок, в частности, к способам и устройствам для получения бериллиевой и бериллийсодержащей фольги, используемых для окон при регистрации низкоэнергетических излучений, и может найти применение в прикладной физике, машиностроении, при обработке металлов и в дру­гих отраслях промышленности.Способ получения бериллиевой и бериллийсодержащей фольги включает нанесение на подготовленную...

Магнетронное распылительное устройство

Загрузка...

Номер патента: 8312

Опубликовано: 17.02.2003

Авторы: Володин Валерий Николаевич, Тулеушев Адил Жианшахович, Тулеушев Юрий Жианшахович, Ким Светлана Николаевна

МПК: C23C 14/35, H01J 37/34, H01J 23/04...

Метки: устройство, распылительное, магнетронное

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области нанесения покрытий, различных по назначению и составу, а именно к устройствам ионно-плазменного распыления в скрещенных магнитном и электрическом полях, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской промышленности, оптике, а также при очистке поверхности металлических лент, полос и других изделий подобной формы.Магнетронное распылительное устройство включает катод,...

Способ получения бериллиевой и бериллийсодержащей фольги

Загрузка...

Номер патента: 10214

Опубликовано: 15.01.2003

Автор: Тулеушев Юрий Жианшахович

МПК: C23C 14/35, B21D 33/00

Метки: фольги, способ, бериллийсодержащей, получения, бериллиевой

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области изготовления самонесущих тонких пленок - фольг, используемых для окон при регистрации низкоэнергетических излучений, и мо­жет быть использовано в прикладной физике, при обработке металлов и в других отра­слях промышленности.Способ получения бериллиевой и бериллийсодержащей фольги включает нане­сение на подготовленную подложку слоя, препятствующего диффузии материала фоль­ги в подложку, последующее многостадийное...

Способ формирования сверхпроводящего пленочного покрытия из нитрида ниобия и проводника на его основе

Загрузка...

Номер патента: 10452

Опубликовано: 16.09.2002

Авторы: Асанов Александр Бикетович, Ким Светлана Николаевна, Володин Валерий Николаевич, Лисицын Владимир Николаевич, Тулеушев Адил Жианшахович, Тулеушев Юрий Жианшахович

МПК: C23C 14/06, C23C 14/35

Метки: основе, сверхпроводящего, способ, покрытия, пленочного, ниобия, формирования, проводника, нитрида

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области получения сверхпроводящих соединений и изготовления проводников на их основе и может быть использовано в электро­технической, радиотехнической, медицинской и других отраслях промышленно­сти.Технический результат изобретения заключается в расширении технологиче­ских возможностей способа формирования сверхпроводящего пленочного покры­тия из нитрида ниобия и проводника.Способ формирования сверхпроводящего плёночного...

Способ получения сверхпроводника с повышенным значением критического тока

Загрузка...

Номер патента: 9187

Опубликовано: 15.10.2001

Авторы: Тулеушев Адил Жианшахович, Лисицын Владимир Николаевич, Асанов Александр Бикетович, Ким Светлана Николаевна, Володин Валерий Николаевич, Тулеушев Юрий Жианшахович

МПК: H01L 39/24, H01L 39/00

Метки: тока, значением, критического, сверхпроводника, способ, повышенным, получения

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области получения сверхпроводников, сверхпроводящих композиции и проводников на их основе и может быть использовано в электротехнической, радиотехнической, медицинской и других отраслях промышленности.Способ повышения критического тока сверхпроводника, например свинца, включает легирование их элементами.Новым по отношению к известным является то, что в качестве легирующих используют элементы, не взаимодействующие с...

Магнетронное устройство для очистки инертных газов

Номер патента: 6391

Опубликовано: 15.06.2000

Автор: Тулеушев Юрий Жианшахович

МПК: B01D 53/32, B01J 19/12

Метки: инертных, устройство, очистки, газов, магнетронное

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области устройств для подготовки рабочего инертного газа, в частности аргона, для ионноплазменного распыления и может быть использовано при нанесении защитных покрытий в машиностроении, электронной технике, медицинской промышленности, оптике, а также при нанесении декоративных покрытий на ювелирные, часовые и другие изделия.Технический результат изобретения - повышение эффективности очистки инертных газов, в частности...