G01L 9/06 — пьезорезистивных устройств
Пьезорезистивный датчик давления и способ его изготовления
Номер патента: 2953
Опубликовано: 15.12.1995
Авторы: Нигматуллин Расим Маулянович, Александров Николай Александрович, Нигматуллина Рауза Мауляновна, Курманбаева Айгуль Асылхановна, Ким Герасим Хактюнович, Пак Сергей Павлович
МПК: G01L 9/06
Метки: изготовления, пьезорезистивный, датчик, давления, способ
Формула / Реферат:
Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано для измерения динамических давлении, в частности, при ударно-волновых нагружениях материалов.Цель изобретения - увеличение точности измерений и расширение диапазона измеряемых давлений и повышение технологичности.Пьезорезистивный датчик давления содержит по меньшей мере одну пару меаллических электродов в форме полосок, размещенных на воспринимающей давление поверхности и...